දෘශ්‍ය නිර්මාණය අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්‍රයේ පුළුල් පරාසයක යෙදුම් ඇත. ඡායාරූප ශිලා ලේඛන යන්ත්‍රයක දී, ආලෝක ප්‍රභවයෙන් නිකුත් වන ආලෝක කදම්භය නාභිගත කිරීම සහ පරිපථ රටාව නිරාවරණය කිරීම සඳහා එය සිලිකන් වේෆරය මතට ප්‍රක්ෂේපණය කිරීම සඳහා ප්‍රකාශ පද්ධතිය වගකිව යුතුය. එබැවින්, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රමයේ දෘශ්‍ය සංරචක සැලසුම් කිරීම සහ ප්‍රශස්ත කිරීම ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වැදගත් ක්‍රමයකි. ඡායාරූප ශිලාලේඛන යන්ත්‍රවල භාවිතා වන දෘශ්‍ය සංරචක කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
ප්රක්ෂේපණ අරමුණ
01 ප්රක්ෂේපණ පරමාර්ථය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයක ප්‍රධාන දෘශ්‍ය සංරචකයකි, සාමාන්‍යයෙන් උත්තල කාච, අවතල කාච සහ ප්රිස්ම ඇතුළු කාච මාලාවකින් සමන්විත වේ.
02 එහි කර්තව්‍යය වන්නේ වෙස් මුහුණ මත ඇති පරිපථ රටාව හැකිලීම සහ එය photoresist ආලේප කර ඇති වේෆරය වෙත නාභිගත කිරීමයි.
03 ප්‍රක්ෂේපන පරමාර්ථයේ නිරවද්‍යතාවය සහ ක්‍රියාකාරීත්වය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ විභේදනය සහ රූපකරණ ගුණාත්මක භාවය කෙරෙහි තීරණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරයි.
කැඩපත
01 දර්පණආලෝකයේ දිශාව වෙනස් කිරීමට සහ එය නිවැරදි ස්ථානයට යොමු කිරීමට භාවිතා කරයි.
02 EUV ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල, දර්පණ විශේෂයෙන් වැදගත් වන්නේ EUV ආලෝකය ද්‍රව්‍ය මගින් පහසුවෙන් අවශෝෂණය කර ගන්නා බැවින්, ඉහළ පරාවර්තකයක් සහිත දර්පණ භාවිතා කළ යුතු බැවිනි.
03 පරාවර්තකයේ මතුපිට නිරවද්‍යතාවය සහ ස්ථායීතාවය ද ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරිත්වයට විශාල බලපෑමක් ඇති කරයි.
පෙරහන්
01 ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවය සහ ගුණාත්මක බව වැඩි දියුණු කරමින් ආලෝකයේ අනවශ්‍ය තරංග ආයාම ඉවත් කිරීමට පෙරහන් භාවිතා කරයි.
02 සුදුසු ෆිල්ටරය තෝරා ගැනීමෙන්, නිශ්චිත තරංග ආයාමයක ආලෝකය පමණක් ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයට ඇතුළු වන බව සහතික කළ හැකි අතර එමඟින් ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවය සහ ස්ථායීතාවය වැඩි දියුණු වේ.
ප්රිස්ම සහ අනෙකුත් සංරචක
මීට අමතරව, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය විශේෂිත ලිතෝග්‍රැෆි අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ප්රිස්ම, ධ්‍රැවීකරණ යනාදිය වැනි වෙනත් සහායක දෘශ්‍ය සංරචක ද භාවිතා කළ හැකිය. මෙම දෘශ්‍ය සංරචක තෝරාගැනීම, සැලසුම් කිරීම සහ නිෂ්පාදනය කිරීම ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ඉහළ නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කිරීම සඳහා අදාළ තාක්ෂණික ප්‍රමිතීන් සහ අවශ්‍යතා දැඩි ලෙස අනුගමනය කළ යුතුය.
සාරාංශයක් ලෙස, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර ක්ෂේත්‍රයේ දෘශ්‍ය සංරචක යෙදීම ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල ක්‍රියාකාරීත්වය සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම අරමුණු කරයි, එමඟින් ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික් නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ දියුණුවට සහාය වේ. ලිතෝග්‍රැෆි තාක්‍ෂණයේ අඛණ්ඩ සංවර්ධනයත් සමඟ, දෘශ්‍ය සංරචකවල ප්‍රශස්තිකරණය සහ නවෝත්පාදනය ඊළඟ පරම්පරාවේ චිප්ස් නිෂ්පාදනය සඳහා වැඩි විභවයක් ලබා දෙනු ඇත.
වැඩි අවබෝධයක් සහ විශේෂඥ උපදෙස් සඳහා, අපගේ වෙබ් අඩවියට පිවිසෙන්නhttps://www.jiujonoptics.com/අපගේ නිෂ්පාදන සහ විසඳුම් ගැන තව දැන ගැනීමට.
පසු කාලය: ජනවාරි-02-2025
