අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්‍රය තුළ දෘශ්‍ය නිර්මාණයට පුළුල් පරාසයක යෙදීම් ඇත. ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයක, දෘශ්‍ය පද්ධතිය ආලෝක ප්‍රභවයෙන් විමෝචනය වන ආලෝක කදම්භය නාභිගත කිරීම සහ පරිපථ රටාව නිරාවරණය කිරීම සඳහා සිලිකන් වේෆරය මතට ප්‍රක්ෂේපණය කිරීම සඳහා වගකිව යුතුය. එබැවින්, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි පද්ධතියේ දෘශ්‍ය සංරචක සැලසුම් කිරීම සහ ප්‍රශස්තිකරණය ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වැදගත් ක්‍රමයකි. ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල භාවිතා වන දෘශ්‍ය සංරචක කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
ප්‍රක්ෂේපණ අරමුණ
01 ප්‍රක්ෂේපණ අරමුණ යනු ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයක ප්‍රධාන දෘශ්‍ය සංරචකයක් වන අතර එය සාමාන්‍යයෙන් උත්තල කාච, අවතල කාච සහ ප්‍රිස්ම ඇතුළු කාච මාලාවකින් සමන්විත වේ.
02 එහි කාර්යය වන්නේ ආවරණයේ පරිපථ රටාව හැකිලීම සහ ෆොටෝරෙසිස්ට් ආලේප කර ඇති වේෆරය මතට එය නාභිගත කිරීමයි.
03 ප්‍රක්ෂේපණ අරමුණෙහි නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්ය සාධනය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ විභේදනය සහ රූපකරණ ගුණාත්මකභාවය කෙරෙහි තීරණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරයි.
කැඩපත
01 දර්පණආලෝකයේ දිශාව වෙනස් කර නිවැරදි ස්ථානයට යොමු කිරීමට භාවිතා කරයි.
02 EUV ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල, දර්පණ විශේෂයෙන් වැදගත් වන්නේ EUV ආලෝකය ද්‍රව්‍ය මගින් පහසුවෙන් අවශෝෂණය කර ගන්නා බැවිනි, එබැවින් ඉහළ පරාවර්තනයක් සහිත දර්පණ භාවිතා කළ යුතුය.
03 පරාවර්තකයේ මතුපිට නිරවද්‍යතාවය සහ ස්ථායිතාව ද ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරිත්වයට විශාල බලපෑමක් ඇති කරයි.
පෙරහන්
01 ආලෝකයේ අනවශ්‍ය තරංග ආයාම ඉවත් කිරීමට පෙරහන් භාවිතා කරනු ලැබේ, එමඟින් ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවය සහ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු වේ.
02 සුදුසු පෙරහන තෝරා ගැනීමෙන්, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයට නිශ්චිත තරංග ආයාමයක ආලෝකය පමණක් ඇතුළු වන බව සහතික කළ හැකි අතර, එමඟින් ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවය සහ ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු වේ.
ප්‍රිස්ම සහ අනෙකුත් සංරචක
ඊට අමතරව, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයට නිශ්චිත ලිතෝග්‍රැෆි අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ප්‍රිස්ම, ධ්‍රැවීකරණ යනාදිය වැනි අනෙකුත් සහායක දෘශ්‍ය සංරචක ද භාවිතා කළ හැකිය. ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ඉහළ නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කිරීම සඳහා මෙම දෘශ්‍ය සංරචක තෝරා ගැනීම, සැලසුම් කිරීම සහ නිෂ්පාදනය කිරීම අදාළ තාක්ෂණික ප්‍රමිතීන් සහ අවශ්‍යතා දැඩි ලෙස අනුගමනය කළ යුතුය.
සාරාංශයක් ලෙස, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර ක්ෂේත්‍රයේ දෘශ්‍ය සංරචක යෙදීම ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල ක්‍රියාකාරිත්වය සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩිදියුණු කිරීම අරමුණු කර ගෙන ඇති අතර එමඟින් ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ සංවර්ධනයට සහාය වේ. ලිතෝග්‍රැෆි තාක්‍ෂණයේ අඛණ්ඩ සංවර්ධනයත් සමඟ, දෘශ්‍ය සංරචක ප්‍රශස්තිකරණය සහ නවෝත්පාදනය ඊළඟ පරම්පරාවේ චිප් නිෂ්පාදනය සඳහා වැඩි විභවයක් ද ලබා දෙනු ඇත.
වැඩිදුර අවබෝධයන් සහ විශේෂඥ උපදෙස් සඳහා, අපගේ වෙබ් අඩවියට පිවිසෙන්නhttps://www.jiujonoptics.com/අපගේ නිෂ්පාදන සහ විසඳුම් පිළිබඳ වැඩිදුර දැන ගැනීමට.
පළ කළ කාලය: ජනවාරි-02-2025
